Elipsometría
Como parte de las soluciones que ofrece Alava Ingenieros, la elipsometría espectroscópica es una técnica óptica no destructiva, que permite caracterizar el espesor de capas delgadas y superficies. Dependiendo del tipo de material que se este midiendo, está técnica permite realizar medidas desde unos pocos Angstrom hasta varias decenas de micras. Es una técnica esencial en la fabricación de semiconductores, y con una amplia gama de productos, Alava Ingenieros, provee soluciones de sobremesa, para I&D hasta soluciones automatizadas para producción.
Descripción
Alava Ingenieros ofrece la técnica más adecuada para la caracterización de películas delgadas. La elipsometría espectroscópica es una técnica óptica sensible a la superficie, no destructiva y no intrusiva, ampliamente utilizada para la caracterización de capas delgadas y superficies. Se basa simplemente en el cambio de estado de polarización de la luz cuando se refleja oblicuamente desde una de película delgada. Dependiendo del tipo de material, los elipsometros espectroscópicos pueden medir espesores desde unos pocos Angstroms hasta varias micras. También es una buena técnica para la medición de multicapas.
La elipsometría espectroscópica permite caracterizar una amplia gama de propiedades de las películas delgadas, como el espesor de la capa, las propiedades de las películas delgadas, como el espesor de la capa, las propiedades ópticas (n,k), el ancho de banda óptico, interfaz y rugosidad de la capa, composición de la película, la uniformidad de profundidad y de área, etc.
Los materiales que se pueden analizar mediante elipsometría, son varios y con distintas características, destacando semiconductores, polímeros, dieléctricos, compuestos orgánicos y metales, etc. La elipsometría también se puede utilizar para estudiar la interfaz solido-liquido o liquido-liquido.
Los elipsómetros espectroscópicos HORIBA utilizan una tecnología innovadora para realizar mediciones de modulación de polarización de alta frecuencia sin ningún movimiento mecánico, lo que proporciona una caracterización más rápida, con un rango más amplio y una mayor precisión en comparación con los elipsómetros convencionales.
AutoSE
Se trata de un elipsómetro espectroscópico destinado a la caracterización en procesos industriales. Se trata de un equipo muy sencillo de utilizar, que permite automatizar análisis, de manera que el operario solo tiene que colocar la muestra, apretar un botón y obtiene directamente un resultado fácil de entender y sin un post procesamiento posterior.
SmartSE
Un equipo potente, económico y fácil de utilizar. El SmartSE es el equipo de entrada de la gama de elipsometría ofrecida por Alava Ingenieros, un equipo económico, que permite realizar medidas rápidas y de precisión, desde unos poco Angstroms hasta las 20micras. Cubre un rango de 450 a 1000nm, permite añadir múltiples opciones, como automatización total, Matrix Mueller, etc.
UviselPlus
El elipsómetro UVISEL Plus ofrece la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización avanzada de películas delgadas, superficies e interfaces.
El nuevo UVISEL Plus incluye la tecnología de adquisición más reciente, diseñada para medir con mayor rapidez y precisión que nunca. FastAcq, la tecnología de adquisición más reciente se basa en la doble modulación y está diseñada para la caracterización de películas delgadas en el mundo real. Basada en una nueva electrónica, procesamiento de datos y monocromador de alta velocidad, la nueva tecnología FastAcq permite completar una medición de muestras de 190 a 2100 nm en 3 minutos, con alta resolución.
Diseñado para ofrecer una mayor flexibilidad en las mediciones de películas delgadas, el UVISEL Plus ofrece micropuntos para muestras con patrones, ángulo variable, plataforma de mapeo automático y una variedad de accesorios, lo que lo hace actualizable para satisfacer todas sus necesidades de aplicación y presupuesto.
El diseño modular del UVISEL Plus permite utilizarlo como herramienta de metrología de sobremesa o para su integración in situ en cámaras de proceso o maquinas de cinta de producción
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