Elipsometria
Como parte das soluções oferecidas pela Alava Ingenieros, a elipsometria espectroscópica é uma técnica ótica não destrutiva que permite caraterizar a espessura de camadas finas e superfícies. Dependendo do tipo de material a medir, esta técnica permite medições desde alguns Angstrom até várias dezenas de microns. É uma técnica essencial no fabrico de semicondutores e, com uma vasta gama de produtos, a Alava Ingenieros fornece soluções de secretária para I&D até soluções automatizadas para a produção.
Descrição
A Alava Ingenieros oferece-te a técnica mais adequada para a caraterização de películas finas. A elipsometria espectroscópica é uma técnica ótica sensível à superfície, não destrutiva e não intrusiva, amplamente utilizada para a caraterização de películas finas e superfícies. Baseia-se simplesmente na mudança do estado de polarização da luz quando reflectida obliquamente a partir de uma película fina. Dependendo do tipo de material, os elipsómetros espectroscópicos podem medir espessuras desde alguns Angstroms até vários microns. É também uma boa técnica para medir multicamadas.
A elipsometria espectroscópica permite caraterizar uma vasta gama de propriedades das películas finas, tais como a espessura da camada, as propriedades ópticas (n,k), a largura de banda ótica, a interface e a rugosidade da camada, a composição da película, a uniformidade da profundidade e da área, etc.
Os materiais que podem ser analisados por elipsometria são diversos e têm caraterísticas diferentes, incluindo semicondutores, polímeros, dieléctricos, compostos orgânicos e metais, etc. A elipsometria também pode ser utilizada para estudar a interface sólido-líquido ou líquido-líquido.
Os elipsómetros espectroscópicos HORIBA utilizam uma tecnologia inovadora para realizar medições de modulação de polarização de alta frequência sem qualquer movimento mecânico, proporcionando uma caraterização mais rápida, uma gama mais ampla e uma maior precisão em comparação com os elipsómetros convencionais.
AutoSE
Trata-se de um elipsómetro espetroscópico para caraterização em processos industriais. É um equipamento muito fácil de utilizar, que permite automatizar a análise, de modo a que o operador apenas tenha de colocar a amostra, premir um botão e obter diretamente um resultado de fácil compreensão e sem pós-processamento posterior.
SmartSE
Um aparelho potente, económico e fácil de utilizar. O SmartSE é o dispositivo de entrada na gama de elipsometria oferecida pela Alava Ingenieros, um dispositivo económico que permite medições rápidas e precisas, desde alguns Angstroms até 20 microns. Cobre uma gama de 450 a 1000nm e permite adicionar múltiplas opções, como a automatização total, Matrix Mueller, etc.
UviselPlus
O elipsómetro UVISEL Plus oferece a melhor combinação de modularidade e desempenho para a caraterização avançada de películas finas, superfícies e interfaces.
O novo UVISEL Plus inclui a mais recente tecnologia de aquisição, concebida para efetuar medições mais rápidas e precisas do que nunca. FastAcq, a mais recente tecnologia de aquisição, baseia-se na modulação dupla e foi concebida para a caraterização de películas finas no mundo real. Baseada na nova eletrónica, no processamento de dados e no monocromador de alta velocidade, a nova tecnologia FastAcq permite que uma medição de amostras de 190 a 2100 nm seja concluída em 3 minutos, com alta resolução.
Concebido para oferecer uma maior flexibilidade nas medições de películas finas, o UVISEL Plus oferece micropontos de amostra padronizados, ângulo variável, plataforma de mapeamento automático e uma variedade de acessórios, tornando-o atualizável para satisfazer todas as suas necessidades de aplicação e orçamento.
O design modular do UVISEL Plus permite-lhe ser utilizado como ferramenta de metrologia de bancada ou para integração no local em câmaras de processo ou máquinas transportadoras de produção.
Documentos
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